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產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2025-04-11訪 問 量：2467
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XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀 特點：
? 于檢測半導(dǎo)體特氣的微量泄漏現場。
? 采用聲光報警互動講。
XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀 規(guī)格：
| 型 號 | XP-703D |
| 檢測對象氣體 | 半導(dǎo)體材料氣體（胂穩定性、膦、乙硼烷過程中、硅烷去突破、氫氣等） |
| 檢測原理 | 型半導(dǎo)體式 |
| 采樣方式 | 自動吸引式 |
| 可檢測濃度 （單位：ppm） | 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
| 檢測表示 | 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍 |
| 應(yīng)答速度 | 10秒以內(nèi) |
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